真空箱(xiang)氦(hai)(hai)(hai)檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)系(xi)統是(shi)一(yi)(yi)種(zhong)用(yong)(yong)于檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)真空容器(qi)(qi)(qi)內氣體是(shi)否漏(lou)(lou)氣的(de)(de)(de)設備(bei)。它(ta)的(de)(de)(de)工作原(yuan)理如(ru)下：首(shou)先，將(jiang)真空容器(qi)(qi)(qi)密(mi)(mi)封在一(yi)(yi)個密(mi)(mi)閉(bi)的(de)(de)(de)真空箱(xiang)中，然后(hou)向容器(qi)(qi)(qi)內充(chong)入(ru)一(yi)(yi)定量的(de)(de)(de)氦(hai)(hai)(hai)氣。接(jie)著，打開真空箱(xiang)的(de)(de)(de)抽氣閥，使真空箱(xiang)內的(de)(de)(de)氦(hai)(hai)(hai)氣逐漸減少，直(zhi)至達(da)到(dao)預定的(de)(de)(de)真空度(du)。此時(shi)，如(ru)果容器(qi)(qi)(qi)內存在漏(lou)(lou)氣，那么氦(hai)(hai)(hai)氣就會從(cong)容器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)漏(lou)(lou)孔中泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)出來，被檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)器(qi)(qi)(qi)捕獲到(dao)。檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)器(qi)(qi)(qi)通常采用(yong)(yong)電(dian)離室或(huo)硅微傳感器(qi)(qi)(qi)等(deng)技術，它(ta)們能夠檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)到(dao)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)出來的(de)(de)(de)氦(hai)(hai)(hai)氣。當檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)到(dao)漏(lou)(lou)氣信號時(shi)，系(xi)統會自動報警或(huo)停止真空箱(xiang)的(de)(de)(de)工作，以防止氣體繼續(xu)泄(xie)(xie)漏(lou)(lou)。真空箱(xiang)氦(hai)(hai)(hai)檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)系(xi)統廣泛應(ying)用(yong)(yong)于航空航天(tian)、電(dian)子、半導體、等(deng)領域(yu)，可以用(yong)(yong)來檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)各(ge)種(zhong)真空容器(qi)(qi)(qi)、氣瓶、氣密(mi)(mi)艙(cang)等(deng)設備(bei)的(de)(de)(de)氣密(mi)(mi)性(xing)。

真(zhen)(zhen)空(kong)箱氦(hai)(hai)檢(jian)(jian)(jian)漏系(xi)統(tong)是一種用(yong)于檢(jian)(jian)(jian)測(ce)和測(ce)量真(zhen)(zhen)空(kong)容(rong)器(qi)內(nei)氦(hai)(hai)氣(qi)泄漏的設備(bei)(bei)。它通過將氦(hai)(hai)氣(qi)充(chong)入真(zhen)(zhen)空(kong)容(rong)器(qi)內(nei)，真(zhen)(zhen)空(kong)檢(jian)(jian)(jian)漏設備(bei)(bei)，然后使用(yong)檢(jian)(jian)(jian)漏儀(yi)器(qi)對容(rong)器(qi)內(nei)的氦(hai)(hai)氣(qi)進行檢(jian)(jian)(jian)測(ce)，以確定容(rong)器(qi)是否存在泄漏。檢(jian)(jian)(jian)漏系(xi)統(tong)通常(chang)會使用(yong)一些(xie)的技術(shu)和傳感器(qi)，例如光譜(pu)儀(yi)、電(dian)渦流傳感器(qi)等，這些(xie)技術(shu)和傳感器(qi)可(ke)以非常(chang)準確地檢(jian)(jian)(jian)測(ce)出容(rong)器(qi)內(nei)氦(hai)(hai)氣(qi)的泄漏量。真(zhen)(zhen)空(kong)箱氦(hai)(hai)檢(jian)(jian)(jian)漏系(xi)統(tong)廣泛應用(yong)于航空(kong)航天、電(dian)子、半(ban)導體、等領域，可(ke)以用(yong)于檢(jian)(jian)(jian)測(ce)和避免由(you)于氦(hai)(hai)氣(qi)泄漏而導致的各種問題，保(bao)障產品質(zhi)量和安全生產。

氦質譜檢漏(lou)系統是一(yi)種高靈敏度的氣體(ti)檢測儀器，主要用于探測微(wei)量(liang)的泄漏(lou)物質。其(qi)工作(zuo)原理是利(li)用高壓電(dian)離室(shi)產生的高壓離子(zi)束轟擊惰性氣體(ti)（如He）分(fen)子(zi)，使它們解離并釋放出正、負粒子(zi)或電(dian)子(zi)，形(xing)成原子(zi)簇(cu)模型(xing)——由(you)(you)大(da)量(liang)的單核和(he)雙核對(dui)許多具有一(yi)定能量(liang)的自由(you)(you)玻爾態的束縛粒子(zi)和(he)游離電(dian)子(zi)組成的微(wei)觀體(ti)系結構；這些帶有一(yi)定能量(liang)的狀態在一(yi)定的空間范圍內存在著庫侖場分(fen)布不均勻而受到激發(fa)(fa)時就會(hui)發(fa)(fa)射(she)特征X射(she)線作(zuo)為示蹤信號源來檢查工件上的氣密性和(he)確(que)定缺陷的位置及大(da)小(xiao)。