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偵測到亮點之情況;
會產生(sheng)亮點(dian)(dian)的(de)缺陷:1.漏電(dian)結(jie);2.解除毛刺;3.熱電(dian)子效應;4閂鎖效應; 5氧化層(ceng)漏電(dian);6多晶硅(gui)須;7襯底損失;8.物理(li)損傷等(deng)。 偵測不(bu)到(dao)亮點(dian)(dian)之(zhi)情況 不(bu)會出現(xian)亮點(dian)(dian)之(zhi)故障(zhang):1.亮點(dian)(dian)位置被擋到(dao)或遮蔽的(de)情形(埋入式的(de)接(jie)面及 大面積金屬線底下的(de)漏電(dian)位置);2.歐(ou)姆(mu)接(jie)觸;3.金屬互聯短路;4.表面 反(fan)型(xing)層(ceng);5.硅(gui)導電(dian)通路等(deng)。
點(dian)被(bei)遮蔽(bi)之情況:埋(mai)入(ru)式的接面(mian)及(ji)大面(mian)積金(jin)屬線(xian)底(di)下的漏(lou)電位置,高速燒錄器(qi)供應(ying)商(shang),這種(zhong)情 況可采用(yong)Backside模式,但是(shi)只(zhi)能(neng)探測近紅(hong)外波段的發光,且需要(yao)減薄(bo)及(ji) 拋光處(chu)理。
芯片失效分析步驟:
1、非破壞(huai)性分析:主要是超聲波掃描顯微鏡(C-SAM)--看有沒delamination,xray--看內部(bu)結構,常州高(gao)速燒(shao)錄器,等(deng)等(deng);
2、電測:主要(yao)工具,萬用(yong)表,示波器(qi), tek370a
3、破壞性分析:機(ji)械decap,化學 decap芯片開封機(ji)
4、半導體器(qi)件芯(xin)片失(shi)(shi)效分析 芯(xin)片內部分析,孔(kong)洞(dong)氣泡失(shi)(shi)效分析。
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