準(zhun)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)(Excimer)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)：準(zhun)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)一詞(ci)的(de)(de)本意，是「兩個同種原子(zi)(zi)(zi)組(zu)成，而(er)只存在(zai)于(yu)(yu)受激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)態(tai)(tai)的(de)(de)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)」，如稀有(you)(you)氣(qi)體(ti)(ti)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)He2、Ar2、Xe2等(deng)；其英文原名為 Excited Dimer 組(zu)合(he)成的(de)(de)術(shu)語。現(xian)在(zai)現(xian)已將它的(de)(de)適用(yong)范(fan)圍放寬，以包(bao)含「不(bu)存在(zai)于(yu)(yu)基(ji)態(tai)(tai)，只以受激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)態(tai)(tai)出現(xian)的(de)(de)任(ren)何雙原子(zi)(zi)(zi)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)(有(you)(you)時還包(bao)含三(san)原子(zi)(zi)(zi)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi))」。銅蒸汽激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)產(chan)品可(ke)(ke)發(fa)生100W以上(shang)的(de)(de)綠光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(511 nm)及(ji)黃光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(578 nm)，金蒸汽激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)則可(ke)(ke)得(de)數十(shi)瓦的(de)(de)紅光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang) (628 nm)。這(zhe)兩種激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)有(you)(you)很多用(yong)途，例如血紫質(zhi)衍生物(wu)(Hemoporphyrin derivative)吸收(shou)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)峰(feng)值約為628 nm，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)，而(er)癌細(xi)胞能(neng)吸收(shou)此(ci)物(wu)質(zhi)。此(ci)物(wu)質(zhi)受到(dao)628 nm的(de)(de)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)照(zhao)耀(yao)后會(hui)分(fen)(fen)化(hua)(hua)(hua)，發(fa)生可(ke)(ke)癌細(xi)胞的(de)(de)物(wu)質(zhi)。不(bu)過，銅蒸汽激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)起染(ran)料(liao)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，也(ye)可(ke)(ke)得(de)到(dao)這(zhe)種光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，而(er)不(bu)必依托(tuo)金蒸汽激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)。此(ci)外，578 nm的(de)(de)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)能(neng)夠除(chu)去(qu)某些胎記，作用(yong)優(you)于(yu)(yu)用(yong)氬離子(zi)(zi)(zi)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)。分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)氣(qi)體(ti)(ti)：二氧化(hua)(hua)(hua)碳激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)和(he)氮氣(qi)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)是常見的(de)(de)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)氣(qi)體(ti)(ti)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，其主(zhu)要激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)分(fen)(fen)屬紅外線(10，640 nm)及(ji)紫外線(337 nm)。生物(wu)組(zu)織(zhi)中的(de)(de)水(shui)分(fen)(fen)會(hui)吸收(shou)它的(de)(de)10，640 nm激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，所以能(neng)用(yong)于(yu)(yu)手術(shu)，所需激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)功率約為50W。此(ci)外，非金屬材(cai)料(liao)的(de)(de)加工、金屬表面(mian)的(de)(de)熱(re)處理(li)、光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜學及(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)化(hua)(hua)(hua)學研討、環境遙測、測距(ju)、激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)起其他激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)、發(fa)生離子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)(俗稱(cheng)電漿(jiang)；Plasma)等(deng)，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)批發(fa)廠家(jia)，也(ye)都可(ke)(ke)用(yong)二氧化(hua)(hua)(hua)碳激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)來進行。

常用的(de)(de)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)焊接保護氣(qi)(qi)體(ti)主要有N2、Ar、He，其物(wu)化(hua)性質各(ge)有差異(yi)，也因此對焊縫的(de)(de)作(zuo)用效果也各(ge)不(bu)相同。Au，Cu，Ba，Sn，Pb，Zn等金屬的(de)(de)蒸汽(qi)(qi)，都是中(zhong)性原(yuan)子激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)自動介質。它們(men)的(de)(de)蒸汽(qi)(qi)中(zhong)，常混(hun)(hun)入低壓(ya)力的(de)(de)惰(duo)性氣(qi)(qi)體(ti)，以提高放電效率(lv)。氣(qi)(qi)體(ti)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)器的(de)(de)重要特點之一(yi)，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)工作(zuo)物(wu)質是混(hun)(hun)合(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)或(huo)單一(yi)純(chun)氣(qi)(qi)體(ti)。由于(yu)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)中(zhong)組分(fen)氣(qi)(qi)的(de)(de)純(chun)度直接影(ying)響激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)性能，特別是氣(qi)(qi)體(ti)中(zhong)氧、水、碳氫化(hua)合(he)(he)(he)(he)物(wu)等雜質的(de)(de)存(cun)在將(jiang)導致激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)輸出功率(lv)在鏡(面)和電極上的(de)(de)耗損，還會引起激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)發(fa)射(she)的(de)(de)不(bu)穩定(ding)。因此，對激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)組分(fen)的(de)(de)純(chun)度有著特殊(shu)要求，包裝混(hun)(hun)合(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)的(de)(de)鋼(gang)瓶，充裝前也必(bi)須進行干燥處理，防止污染混(hun)(hun)合(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)。如(ru)果將(jiang)氦(He)氖(Ne)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)作(zuo)為代氣(qi)(qi)體(ti)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)，二氧化(hua)碳激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)是第二代氣(qi)(qi)體(ti)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)，在半導體(ti)制造領域將(jiang)大量使用的(de)(de)氟化(hua)氪(KrF)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)供(gong)應商，可稱(cheng)為第三(san)代激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)。

如果將氦(He)氖(Ne)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)作為(wei)代氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)，二氧化碳激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)是第二代氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)，在半(ban)導體(ti)制(zhi)造領(ling)域將大量使用的(de)(de)氟化氪(ke)(KrF)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)，可稱為(wei)第三代激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)。氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)重要特點(dian)之(zhi)一，激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)工作物質是混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)或(huo)單(dan)一純氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)因(yin)此(ci)，對激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)組分(fen)的(de)(de)純度有著特殊要求，包裝混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)鋼瓶，充裝前(qian)也必須進行(xing)干(gan)燥處理，防止(zhi)污(wu)染混(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。稀有氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)離子(zi)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)中，以氬離子(zi)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)及氪(ke)離子(zi)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)為(wei)常見。除(chu)了直接使用之(zhi)外，氬離子(zi)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)常以其紫外線及藍(lan)綠(lv)光(guang)(guang)(guang)(guang)激(ji)(ji)起染料(liao)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)。