陶瓷靶材

ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五(wu)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，、二(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五(wu)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鉭，五(wu)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟(fu)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟(fu)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硼(peng)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，鈮酸鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)(tai)酸鐠(pu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)(tai)酸鋇靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)(tai)(tai)酸鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺(jian)射靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材等。

金屬靶材材質分為：

鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Ni、鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Ti、鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Zn、鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Cr、鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Mg、鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Nb、錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Sn、鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Al、銦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、In、鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Fe、鋯(gao)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、ZrAl、鈦鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、TiAl、鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Zr、鋁硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、AlSi、硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Si、銅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cu、鉭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)T、a、鍺靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Ge、銀靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Ag、鈷(gu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Co、金靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Au、釓靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Gd、鑭(lan)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、La、釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Y、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、w、不(bu)銹鋼(gang)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鎳鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、NiCr、鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Hf、鉬靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、Mo、鐵鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、FeNi、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、W等。

鎢(wu)-鈦（W-Ti）膜(mo)以及以鎢(wu)-鈦（W-Ti）為基的(de)(de)合金(jin)膜(mo)是高溫(wen)合金(jin)膜(mo)，具(ju)有(you)一系列的(de)(de)優(you)良(liang)性(xing)(xing)能。鎢(wu)具(ju)有(you)高熔點、高強度(du)和(he)低的(de)(de)熱膨脹系數等(deng)性(xing)(xing)能，銀(yin)(yin)蒸(zheng)發(fa)(fa)鍍(du)(du)靶材(cai)誰家(jia)好，W/ Ti 合金(jin)具(ju)有(you)低的(de)(de)電阻系數、良(liang)好的(de)(de)熱穩定(ding)性(xing)(xing)能。如各種器件(jian)都需要(yao)起(qi)到導電作(zuo)用的(de)(de)金(jin)屬布(bu)(bu)線(xian)，銀(yin)(yin)蒸(zheng)發(fa)(fa)鍍(du)(du)靶材(cai)報價，例(li)如Al 、Cu 和(he)Ag 等(deng)已經被廣泛的(de)(de)應用和(he)研究。但是布(bu)(bu)線(xian)金(jin)屬本身易 氧化、易與周圍的(de)(de)環境發(fa)(fa)生反(fan)應，銀(yin)(yin)蒸(zheng)發(fa)(fa)鍍(du)(du)靶材(cai)加工，與介質層的(de)(de)粘結性(xing)(xing)差，遼寧銀(yin)(yin)蒸(zheng)發(fa)(fa)鍍(du)(du)靶材(cai)，易擴散進入Si 與SiO2 等(deng)器件(jian)的(de)(de)襯底(di)材(cai)料中，并(bing)且在較低的(de)(de)溫(wen)度(du)下(xia)會(hui)形(xing)成金(jin)屬與Si 的(de)(de)化合物， 充當了雜質的(de)(de)角色，使器件(jian)的(de)(de)性(xing)(xing)能大幅度(du)下(xia)降。