由表面層(ceng)(ceng)和基(ji)層(ceng)(ceng)組(zu)成的(de)(de)(de)(de)半(ban)導(dao)(dao)電輥；該(gai)(gai)表面層(ceng)(ceng)具(ju)有較(jiao)(jiao)高的(de)(de)(de)(de)電阻(zu)(zu)值(zhi)(zhi)，由橡膠(jiao)組(zu)合物制成；基(ji)層(ceng)(ceng)具(ju)有較(jiao)(jiao)低的(de)(de)(de)(de)電阻(zu)(zu)值(zhi)(zhi)，由導(dao)(dao)電橡膠(jiao)組(zu)合物組(zu)成。該(gai)(gai)半(ban)導(dao)(dao)電輥的(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)在于(yu)通過良好地平衡表面層(ceng)(ceng)和基(ji)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)電阻(zu)(zu)值(zhi)(zhi)而獲得良好的(de)(de)(de)(de)靜(jing)電充電特性。有必要使這(zhe)兩(liang)種層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)厚度高度準(zhun)確。為使兩(liang)種層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)厚度高度準(zhun)確，需(xu)要較(jiao)(jiao)麻煩的(de)(de)(de)(de)管理(li)，香檳金靶材制造，并且(qie)生產橡膠(jiao)輥的(de)(de)(de)(de)成本(ben)較(jiao)(jiao)高。

而未米的(de)0.18um}藝甚至(zhi)0.13m工(gong)藝，所(suo)需(xu)要的(de)靶材純度將要求達到5甚至(zhi)6N以上。銅(tong)與鋁相(xiang)比較，錦州(zhou)香檳金靶材，銅(tong)具有更高(gao)的(de)抗電(dian)遷移(yi)能力及更低的(de)電(dian)阻率，香檳金靶材誰家(jia)好，能夠滿足！導體工(gong)藝在0.25um以下的(de)亞微米布(bu)線的(de)需(xu)要但(dan)卻帶米了其(qi)他的(de)問題：銅(tong)與有機(ji)介質材料的(de)附(fu)著強度低．并且容易發(fa)生(sheng)反應，導致在使用過程中(zhong)芯(xin)片的(de)銅(tong)互連線被腐蝕(shi)而斷路(lu)。

為了解決以上(shang)這些(xie)問題(ti)，需要(yao)在銅與介質層(ceng)之(zhi)間(jian)設置阻(zu)(zu)擋層(ceng)。阻(zu)(zu)擋層(ceng)材料(liao)(liao)一(yi)般采用高(gao)熔(rong)點、高(gao)電(dian)阻(zu)(zu)率的(de)(de)(de)金屬(shu)及其(qi)化合物，因此要(yao)求阻(zu)(zu)擋層(ceng)厚度小于50nm，與銅及介質材料(liao)(liao)的(de)(de)(de)附著性能(neng)良好。銅互(hu)連(lian)(lian)和鋁互(hu)連(lian)(lian)的(de)(de)(de)阻(zu)(zu)擋層(ceng)材料(liao)(liao)是不同的(de)(de)(de)．需要(yao)研制新的(de)(de)(de)靶材材料(liao)(liao)。銅互(hu)連(lian)(lian)的(de)(de)(de)阻(zu)(zu)擋層(ceng)用靶材包括(kuo)Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔(rong)金屬(shu)．制作相對困難，如(ru)今正在研究鉬、鉻等的(de)(de)(de)臺金作為替(ti)代(dai)材料(liao)(liao)。

超純(chun)(chun)金屬的制備有化(hua)學提(ti)(ti)純(chun)(chun)法如精餾（特別是(shi)金屬氯化(hua)物(wu)的精餾及(ji)氫還(huan)原）、升華(hua)、溶(rong)劑(ji)萃取(qu)等和物(wu)理提(ti)(ti)純(chun)(chun)法如區熔(rong)提(ti)(ti)純(chun)(chun)等（見硅(gui)、鍺、鋁(lv)、銦）。其中以區熔(rong)提(ti)(ti)純(chun)(chun)或區熔(rong)提(ti)(ti)純(chun)(chun)與其他(ta)方法相 結合有效(xiao)。

由于容(rong)器與藥劑中(zhong)雜質的污染，使(shi)得到的金(jin)屬純(chun)度(du)受到一(yi)定的限(xian)制，只有(you)用化(hua)學方法(fa)將金(jin)屬提純(chun)到一(yi)定純(chun)度(du)之后，再用物理方法(fa)如(ru)區(qu)熔(rong)提純(chun)，才能將金(jin)屬純(chun)度(du)提到一(yi)個(ge)新的高(gao)度(du)。可以用半導體材(cai)料鍺及超(chao)純(chun)金(jin)屬鋁為(wei)例說明典型的超(chao)純(chun)金(jin)屬制備及檢測(ce)的原(yuan)理（見區(qu)域熔(rong)煉）。