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氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)設(she)備,作為現代材(cai)料制(zhi)備領域的(de)(de)璀璨明珠,正(zheng)悄(qiao)然著(zhu)一(yi)場“綠色革(ge)命(ming)”。這項技術的(de)(de)在(zai)(zai)于通過氣態前驅(qu)物的(de)(de)化學(xue)反(fan)應或物理(li)(li)過程在(zai)(zai)基底表(biao)面形成(cheng)薄膜(mo)或其(qi)(qi)他結(jie)構。它不(bu)僅(jin)實(shi)現了材(cai)料的(de)(de)合成(cheng)與改性(xing),更(geng)以其(qi)(qi)、低耗和(he)環保(bao)的(de)(de)特點成(cheng)為守(shou)護地(di)球家(jia)園(yuan)的(de)(de)重(zhong)要力(li)量(liang)之(zhi)(zhi)一(yi)。傳統的(de)(de)材(cai)料制(zhi)備方(fang)(fang)法往往伴隨著(zhu)高能(neng)耗和(he)高污(wu)染問題。而(er)氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)技術則憑借其(qi)(qi)的(de)(de)優(you)勢脫(tuo)穎而(er)出:它能(neng)夠(gou)在(zai)(zai)較低的(de)(de)溫度下(xia)完成(cheng)反(fan)應過程;能(neng)夠(gou)控(kong)制(zhi)所得膜(mo)層(ceng)的(de)(de)成(cheng)分和(he)結(jie)構從(cong)而(er)滿足特定應用需求;且整個過程中產生的(de)(de)廢棄(qi)物甚(shen)至可(ke)以實(shi)現零排(pai)放(fang)。這些特點使(shi)得它在(zai)(zai)半導體制(zhi)造業中備受青睞的(de)(de)同時也為其(qi)(qi)他行(xing)(xing)業提供了可(ke)持(chi)續(xu)發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)(zhan)的(de)(de)解(jie)決(jue)方(fang)(fang)案(an)范(fan)例——如新能(neng)源開發(fa)(fa)中的(de)(de)光伏(fu)電池制(zhi)作以及航(hang)空(kong)航(hang)天(tian)領域的(de)(de)涂(tu)層(ceng)技術等(deng)均(jun)離不(bu)開這一(yi)關鍵(jian)技術的(de)(de)支持(chi)和(he)幫助。隨著(zhu)對環境保(bao)護意識的(de)(de)日(ri)益(yi)增強(qiang)以及對可(ke)持(chi)續(xu)發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)(zhan)目標的(de)(de)不(bu)懈追求,“綠色”已成(cheng)為各(ge)行(xing)(xing)各(ge)業發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)(zhan)的(de)(de)關鍵(jian)詞匯之(zhi)(zhi)一(yi)。在(zai)(zai)這場深(shen)刻變革(ge)之(zhi)(zhi)中,氣相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)設(she)備正(zheng)以其(qi)(qi)的(de)(de)技術理(li)(li)念和(he)顯著(zhu)成(cheng)果為我們指引著(zhu)前行(xing)(xing)方(fang)(fang)向——性(xing)地(di)開啟了一(yi)場材(cai)料制(zhi)備領域中真實(shi)可(ke)感且深(shen)遠(yuan)意義重(zhong)大“綠色革(ge)命(ming)”并持(chi)續(xu)不(bu)斷地(di)為保(bao)護我們共同的(de)(de)地(di)球家(jia)園(yuan)貢獻著(zhu)智慧(hui)和(he)力(li)量(liang)!
【真(zhen)(zhen)空(kong)鍍(du)(du)(du)膜(mo)技(ji)(ji)(ji)術綠色制造(zao)(zao)革命力推(tui)替(ti)代傳(chuan)統電(dian)鍍(du)(du)(du)工藝(yi)】在'雙碳'戰略深(shen)入推(tui)進(jin)的(de)(de)(de)背(bei)景(jing)下,我(wo)國(guo)(guo)表面(mian)處理(li)行(xing)(xing)業(ye)(ye)迎來(lai)重大(da)技(ji)(ji)(ji)術革新(xin)。近(jin)(jin)日,采用物理(li)氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(PVD)技(ji)(ji)(ji)術的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)鍍(du)(du)(du)膜(mo)設備獲得重點(dian)推(tui)薦,化(hua)學氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積工廠哪里(li)近(jin)(jin),這(zhe)項可(ke)完全替(ti)代傳(chuan)統電(dian)鍍(du)(du)(du)的(de)(de)(de)綠色工藝(yi),成功了(le)困擾行(xing)(xing)業(ye)(ye)數十年(nian)(nian)的(de)(de)(de)鉻(ge)污染(ran)難(nan)題,標(biao)志著(zhu)我(wo)國(guo)(guo)金(jin)屬表面(mian)處理(li)正式邁入清(qing)潔(jie)生(sheng)產(chan)新(xin)階段。傳(chuan)統六價鉻(ge)電(dian)鍍(du)(du)(du)工藝(yi)因重金(jin)屬污染(ran)問題,每年(nian)(nian)產(chan)生(sheng)數千萬噸含鉻(ge)廢(fei)水,處理(li)成本高達行(xing)(xing)業(ye)(ye)總成本的(de)(de)(de)40%。真(zhen)(zhen)空(kong)鍍(du)(du)(du)膜(mo)技(ji)(ji)(ji)術通過真(zhen)(zhen)空(kong)環(huan)(huan)(huan)境下金(jin)屬離子沉(chen)(chen)積原理(li),實現全程零廢(fei)水排放,消除六價鉻(ge)、化(hua)物等有(you)害物質。實測數據(ju)顯示(shi),該(gai)技(ji)(ji)(ji)術材(cai)料利用率提升至85%以(yi)上,能耗降低(di)50%,鍍(du)(du)(du)層均勻(yun)度、硬度等指標(biao)均優于(yu)傳(chuan)統工藝(yi)。在《國(guo)(guo)家鼓勵發展的(de)(de)(de)重大(da)環(huan)(huan)(huan)保技(ji)(ji)(ji)術裝(zhuang)備目(mu)錄(lu)》中明確將(jiang)真(zhen)(zhen)空(kong)鍍(du)(du)(du)膜(mo)列為替(ti)代類技(ji)(ji)(ji)術,目(mu)前已在汽(qi)車輪轂、衛浴(yu)五金(jin)、電(dian)子元(yuan)件等領域形成規模(mo)化(hua)應用。某衛浴(yu)企業(ye)(ye)采用該(gai)技(ji)(ji)(ji)術后,年(nian)(nian)減排含鉻(ge)廢(fei)水12萬噸,節省環(huan)(huan)(huan)保治理(li)費用超2000萬元(yuan),化(hua)學氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積鍍(du)(du)(du)膜(mo),產(chan)品耐腐蝕性能提升3倍(bei)以(yi)上。行(xing)(xing)業(ye)(ye)指出,隨著(zhu)《清(qing)潔(jie)生(sheng)產(chan)促進(jin)法》新(xin)規實施及歐盟(meng)RoHS指令升級,真(zhen)(zhen)空(kong)鍍(du)(du)(du)膜(mo)技(ji)(ji)(ji)術將(jiang)加(jia)速滲透(tou)近(jin)(jin)2000億元(yuan)規模(mo)的(de)(de)(de)表面(mian)處理(li)市(shi)場。該(gai)技(ji)(ji)(ji)術的(de)(de)(de)普及不(bu)僅大(da)幅(fu)降低(di)環(huan)(huan)(huan)境風險,更(geng)推(tui)動我(wo)國(guo)(guo)制造(zao)(zao)業(ye)(ye)向精密(mi)化(hua)、化(hua)轉型(xing),為'中國(guo)(guo)智造(zao)(zao)'注入綠色動能。預(yu)計到2025年(nian)(nian),該(gai)技(ji)(ji)(ji)術滲透(tou)率將(jiang)突破30%,深(shen)圳化(hua)學氣(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積,帶動環(huan)(huan)(huan)保裝(zhuang)備產(chan)業(ye)(ye)新(xin)增產(chan)值超500億元(yuan)。
氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji),這一(yi)高科(ke)(ke)技(ji)工藝(yi)方(fang)法,正(zheng)以(yi)(yi)其(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)魅力和(he)潛力重塑著(zhu)材(cai)(cai)料(liao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)未(wei)來(lai)。它(ta)通過氣(qi)體分(fen)子(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)物(wu)理或(huo)化(hua)學過程在基底表面形成(cheng)薄膜層(ceng)或(huo)涂層(ceng)材(cai)(cai)料(liao),賦予傳統(tong)物(wu)質全新(xin)(xin)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)特性和(he)功能(neng)。隨著(zhu)科(ke)(ke)技(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)飛速發(fa)(fa)展(zhan)和(he)各(ge)個(ge)領域的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)不(bu)(bu)斷(duan)突破創新(xin)(xin),氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)技(ji)術(shu)逐漸(jian)展(zhan)現(xian)出其(qi)科(ke)(ke)技(ji)新(xin)(xin)篇章的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)重要角(jiao)色。無論是在航(hang)空(kong)航(hang)天、電(dian)子(zi)信息還是新(xin)(xin)能(neng)源等關鍵領域,它(ta)都發(fa)(fa)揮著(zhu)舉(ju)足輕(qing)重的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)。通過控制微觀結構和(he)組成(cheng)成(cheng)分(fen),化(hua)學氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)工廠在哪,氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)可(ke)以(yi)(yi)制備(bei)出具(ju)有(you)優異力學性能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)新(xin)(xin)型復合(he)材(cai)(cai)料(liao);也能(neng)制得具(ju)備(bei)特定(ding)光(guang)電(dian)性質的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)半導體材(cai)(cai)料(liao)以(yi)(yi)支持新(xin)(xin)一(yi)代信息技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)飛躍發(fa)(fa)展(zhan)。此(ci)外(wai),它(ta)在節能(neng)環保和(he)提(ti)高能(neng)源利用(yong)率(lv)方(fang)面也有(you)著(zhu)巨大應(ying)用(yong)前景——如提(ti)高太陽能(neng)電(dian)池的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)電(dian)轉(zhuan)換效率(lv)以(yi)(yi)及開發(fa)(fa)新(xin)(xin)型熱障(zhang)材(cai)(cai)料(liao)等任務上屢建奇功。可(ke)以(yi)(yi)說(shuo),這項(xiang)技(ji)術(shu)已經成(cheng)為(wei)科(ke)(ke)技(ji)進(jin)步不(bu)(bu)可(ke)或(huo)缺的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)推(tui)動力量之一(yi)。展(zhan)望未(wei)來(lai),氣(qi)相(xiang)存積(ji)技(ji)術(shu)將在更多未(wei)知與可(ke)能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)世(shi)界里展(zhan)現(xian)其(qi)價值和(he)應(ying)用(yong)空(kong)間為(wei)人類社(she)會帶(dai)來(lai)更多驚(jing)喜與變革!
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