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壓(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)陶(tao)瓷(ci)執行器驅動電(dian)(dian)(dian)(dian)源主(zhu)要有電(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)控(kong)制(zhi)型和電(dian)(dian)(dian)(dian)流/電(dian)(dian)(dian)(dian)荷控(kong)制(zhi)型兩種[3],從(cong)實現(xian)方式(shi)上(shang)主(zhu)要有線(xian)性和開關式(shi)兩種[4]。電(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)控(kong)制(zhi)型壓(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)陶(tao)瓷(ci)執行器驅動電(dian)(dian)(dian)(dian)源有以下幾種方式(shi):
1)線性直流放大式電源直接采用高壓運算放大器的方式具有靜態性能好、集成度高、結構簡單等優點,但由于高壓運算放大器的輸出電流一般都小于200mA,
2)電壓跟隨式電源此種壓電陶瓷執行器驅動電源將電壓放大和功率放大分離,驅動級可以提供較高的驅動電流;由于沒有直接從輸出的電壓信號取得采樣,前后級之間會產生跟隨誤差,精度不可能很高;并且在靜態時驅動電源仍有較大的
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