流量控制器基本原理

通(tong)過測(ce)量(liang)(liang)氣體(ti)流(liu)(liu)(liu)經流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)器(qi)內(nei)加(jia)(jia)熱元件(jian)時(shi)的(de)(de)冷卻效應(ying)來(lai)(lai)計量(liang)(liang)氣體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)的(de)(de)。氣體(ti)通(tong)過的(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)段內(nei)有兩個熱阻(zu)元件(jian)，其(qi)中一(yi)個作為溫(wen)(wen)度(du)(du)檢(jian)測(ce)，另一(yi)個作為加(jia)(jia)熱器(qi)。溫(wen)(wen)度(du)(du)傳(chuan)感元件(jian)用于(yu)檢(jian)測(ce)氣體(ti)溫(wen)(wen)度(du)(du)，加(jia)(jia)熱器(qi)則通(tong)過改(gai)變電流(liu)(liu)(liu)來(lai)(lai)保持其(qi)溫(wen)(wen)度(du)(du)與被(bei)測(ce)氣體(ti)的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)之間有一(yi)個恒定(ding)的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)差(cha)。當氣體(ti)流(liu)(liu)(liu)速增加(jia)(jia)，冷卻效應(ying)越(yue)大，使(shi)須保持熱電阻(zu)間恒溫(wen)(wen)的(de)(de)電流(liu)(liu)(liu)也越(yue)大。此熱傳(chuan)遞正(zheng)比于(yu)氣體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，即供給電流(liu)(liu)(liu)與氣體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)有一(yi)對(dui)應(ying)的(de)(de)函數(shu)關(guan)系來(lai)(lai)反映氣體(ti)的(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)。

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流量控制器(qi)的穩定控制時間

由于(yu)到達(da)設(she)(she)(she)定(ding)(ding)值后控制(zhi)器可能會發生超調，所以(yi)通常(chang)制(zhi)造(zao)商(shang)用到達(da)設(she)(she)(she)定(ding)(ding)值且穩定(ding)(ding)后所需要(yao)的(de)時(shi)間(jian)作為設(she)(she)(she)備(bei)響應(ying)速(su)度，并賦予波形振蕩幅度一(yi)個(ge)容許(xu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)。舉個(ge)例子，智(zhi)(zhi)能電磁流(liu)量(liang)(liang)計(ji)哪里有(you)， 容許(xu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)2%表示(shi)流(liu)量(liang)(liang)波動在設(she)(she)(she)定(ding)(ding)值的(de)2%以(yi)內即為穩定(ding)(ding)。一(yi)般質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)器的(de)精(jing)(jing)度在0.5%~2%之(zhi)間(jian)，但一(yi)些(xie)制(zhi)造(zao)商(shang)卻(que)將穩定(ding)(ding)容許(xu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)擴大到10%。我們認為如果用戶要(yao)將流(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)在期望(wang)的(de)設(she)(she)(she)定(ding)(ding)值，那么其穩定(ding)(ding)容許(xu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)也必須落在設(she)(she)(she)備(bei)精(jing)(jing)度范(fan)(fan)(fan)圍(wei)內。如下面示(shi)波器截屏圖所示(shi)，智(zhi)(zhi)能電磁流(liu)量(liang)(liang)計(ji)哪家好，控制(zhi)器在27.6毫秒時(shi)到達(da)了(le)與設(she)(she)(she)備(bei)精(jing)(jing)度(滿(man)量(liang)(liang)程的(de)1%)等同的(de)穩定(ding)(ding)容許(xu)范(fan)(fan)(fan)圍(wei)。

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流量控制器

氣體質量(liang)流(liu)量(liang)單位一般以(yi)sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每(mei)分鐘標(biao)準毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每(mei)分鐘標(biao)準升）來表(biao)示。這意味著，這種儀(yi)(yi)表(biao)在不(bu)同的(de)使(shi)用條件下，指(zhi)示的(de)流(liu)量(liang)均是(shi)標(biao)準狀態(tai)下的(de)流(liu)量(liang)。標(biao)準狀態(tai)規定(ding)為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是(shi)這種儀(yi)(yi)表(biao)和其它流(liu)量(liang)計的(de)重要區別(bie)，也是(shi)sccm﹑slm不(bu)同于mL/min﹑L/min 之(zhi)處。