氦質譜檢(jian)(jian)漏系(xi)統(tong)是一(yi)種(zhong)高靈敏(min)度的(de)(de)(de)泄漏檢(jian)(jian)測設備(bei)，汽(qi)車行業氦檢(jian)(jian)解決方案(an)，主(zhu)要用(yong)于(yu)(yu)(yu)真(zhen)空系(xi)統(tong)中微小滲漏的(de)(de)(de)查(cha)找和定(ding)(ding)位(wei)。它主(zhu)要由主(zhu)機、進(jin)氣(qi)管道組件(jian)(jian)、離(li)子(zi)源、收集極、高壓電(dian)源、探測器等(deng)(deng)部(bu)分組成(cheng)。該系(xi)統(tong)的(de)(de)(de)功能是利(li)用(yong)高速(su)流(liu)動(dong)的(de)(de)(de)高純度惰性氣(qi)體(ti)（通常是氮或）流(liu)將(jiang)待測區域與外部(bu)環(huan)境(jing)隔離(li)，如果(guo)存在(zai)(zai)泄的(de)(de)(de)話，那么在(zai)(zai)壓力梯(ti)變的(de)(de)(de)影響(xiang)下空氣(qi)中的(de)(de)(de)分子(zi)會從有(you)縫隙(xi)的(de)(de)(de)地方跑出去形成(cheng)氣(qi)泡，從而產生聲學(xue)信號或者叫作(zuo)粒子(zi)束(shu)，通過測量(liang)這(zhe)(zhe)個(ge)(ge)聲音可(ke)以確(que)定(ding)(ding)具體(ti)的(de)(de)(de)漏洞位(wei)置以及(ji)大(da)小等(deng)(deng)信息。這(zhe)(zhe)種(zhong)技術對各種(zhong)材料均不敏(min)感(gan)而且對于(yu)(yu)(yu)很小的(de)(de)(de)體(ti)積也(ye)(ye)可(ke)以進(jin)行準(zhun)確(que)的(de)(de)(de)測定(ding)(ding)，因此廣泛應用(yong)于(yu)(yu)(yu)半導體(ti)工業中硅片(pian)芯(xin)片(pian)封裝環(huan)境(jing)的(de)(de)(de)監測以防止晶圓損傷；也(ye)(ye)應用(yong)于(yu)(yu)(yu)大(da)規模集成(cheng)電(dian)路生產線上檢(jian)(jian)查(cha)每(mei)個(ge)(ge)密封件(jian)(jian)是否(fou)有(you)缺陷。

氦(hai)(hai)檢(jian)(jian)漏(lou)系統(tong)(tong)是一(yi)(yi)種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)密檢(jian)(jian)測(ce)系統(tong)(tong)，用(yong)于檢(jian)(jian)測(ce)容(rong)器(qi)(qi)(qi)或(huo)管(guan)道(dao)(dao)是否存在(zai)泄(xie)漏(lou)。它使(shi)用(yong)氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)來填充容(rong)器(qi)(qi)(qi)或(huo)管(guan)道(dao)(dao)，以便在(zai)泄(xie)漏(lou)時檢(jian)(jian)測(ce)到。當氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)進入(ru)容(rong)器(qi)(qi)(qi)或(huo)管(guan)道(dao)(dao)時，它會與其中的空氣(qi)(qi)(qi)混(hun)合，從(cong)而產生(sheng)氣(qi)(qi)(qi)泡。如(ru)果存在(zai)泄(xie)漏(lou)，氣(qi)(qi)(qi)泡會在(zai)容(rong)器(qi)(qi)(qi)或(huo)管(guan)道(dao)(dao)內部形成(cheng)，從(cong)而發(fa)出警報(bao)。該系統(tong)(tong)通常由一(yi)(yi)個氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)發(fa)生(sheng)器(qi)(qi)(qi)、一(yi)(yi)個氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)檢(jian)(jian)測(ce)器(qi)(qi)(qi)和一(yi)(yi)個報(bao)警控制(zhi)器(qi)(qi)(qi)組成(cheng)。氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)發(fa)生(sheng)器(qi)(qi)(qi)產生(sheng)氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)，氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)檢(jian)(jian)測(ce)器(qi)(qi)(qi)檢(jian)(jian)測(ce)氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)的存在(zai)，并將(jiang)其轉換為電(dian)信號。報(bao)警控制(zhi)器(qi)(qi)(qi)收到電(dian)信號后，會發(fa)出警報(bao)，通知操(cao)作人員進行檢(jian)(jian)查。氦(hai)(hai)檢(jian)(jian)漏(lou)系統(tong)(tong)具(ju)有靈敏度(du)高、檢(jian)(jian)測(ce)速度(du)快、安裝方便等(deng)優點，廣泛(fan)應用(yong)于石(shi)油、化工、制(zhi)藥(yao)等(deng)行業。

檢漏系統(tong)(tong)是(shi)一(yi)種(zhong)用于檢測(ce)泄(xie)漏的(de)自(zi)動化(hua)設(she)備，它可(ke)以(yi)(yi)通過多種(zhong)方(fang)式來檢查液體或氣(qi)體的(de)泄(xie)露(lu)。該系統(tong)(tong)的(de)部分(fen)(fen)是(shi)一(yi)個(ge)傳感(gan)器(qi)模塊和(he)(he)一(yi)個(ge)控制(zhi)單元(yuan)，它們協(xie)同(tong)工作以(yi)(yi)實(shi)現準確的(de)測(ce)量(liang)和(he)(he)數據(ju)處理。傳感(gan)器(qi)的(de)設(she)計可(ke)以(yi)(yi)針對不同(tong)類型的(de)氣(qi)體進行(xing)優(you)化(hua)調(diao)整，如選(xuan)擇適當的(de)感(gan)應(ying)器(qi)、調(diao)節響應(ying)時(shi)間(jian)等(deng)參數以(yi)(yi)滿(man)足特定應(ying)用的(de)需求。此外，控制(zhi)系統(tong)(tong)還(huan)具有自(zi)我保(bao)護功能以(yi)(yi)確保(bao)操作員的(de)安(an)全性(xing)以(yi)(yi)及設(she)備的(de)長期穩定性(xing)與可(ke)靠性(xing)。例如：當發生氣(qi)體外泄(xie)時(shi)，控制(zhi)器(qi)會立即啟動警報(bao)裝置并(bing)關(guan)閉閥門；同(tong)時(shi)通過數據(ju)記錄儀保(bao)存有關(guan)報(bao)警的(de)數據(ju)以(yi)(yi)便日后查詢和(he)(he)分(fen)(fen)析。