真(zhen)(zhen)空(kong)箱氦檢漏系(xi)統(tong)主要用(yong)于(yu)檢測(ce)電(dian)子產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)密封性能，常(chang)用(yong)于(yu)手機(ji)、筆記本電(dian)腦等產(chan)品(pin)在量產(chan)線上(shang)(shang)的(de)(de)(de)可靠性和(he)一(yi)致性測(ce)試。該系(xi)統(tong)的(de)(de)(de)操作原(yuan)理是：首先將待測(ce)電(dian)子產(chan)品(pin)放(fang)入真(zhen)(zhen)空(kong)氣氛室(shi)中(zhong)抽真(zhen)(zhen)空(kong)并充(chong)入高純度惰性氣體——氦氣；然后通過(guo)的(de)(de)(de)信號(hao)發生(sheng)器產(chan)生(sheng)高頻(pin)電(dian)脈沖或(huo)機(ji)械(xie)振(zhen)動(dong)源（聲學法），均勻地(di)輻射到被測(ce)樣品(pin)上(shang)(shang)形成(cheng)特定的(de)(de)(de)應力場；接(jie)著利用(yong)示(shi)蹤粒(li)子“氦”原(yuan)子無(wu)色透明且易與(yu)環境介質充(chong)分滲透的(de)(de)(de)特點(dian)，使氦氣的(de)(de)(de)濃度能夠迅速傳(chuan)遞到達泄漏點(dian)并在其中(zhong)彌散(san)和(he)溶解起來(lai)；使用(yong)靈敏的(de)(de)(de)測(ce)量儀(yi)器對(dui)抽取到的(de)(de)(de)含有微小泄露物的(de)(de)(de)樣本進行定量分析以得出樣品(pin)的(de)(de)(de)實際壓(ya)力值并與(yu)參(can)考標準相比較來(lai)判斷(duan)是否合格。

氦質(zhi)譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)系(xi)(xi)統是(shi)一種(zhong)高靈(ling)敏(min)度(du)的泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)設備，主要用(yong)(yong)于(yu)真空系(xi)(xi)統中(zhong)微小滲漏(lou)的查找和定位。它(ta)主要由主機、進氣(qi)管道組(zu)件(jian)(jian)、離子源(yuan)、收集極、高壓(ya)電源(yuan)、探測(ce)(ce)(ce)器等(deng)部(bu)分(fen)組(zu)成。該系(xi)(xi)統的功能是(shi)利用(yong)(yong)高速流動的高純度(du)惰性氣(qi)體(ti)（通常是(shi)氮(dan)或）流將待(dai)測(ce)(ce)(ce)區域與(yu)外部(bu)環境隔離，氦質(zhi)譜(pu)檢(jian)(jian)漏(lou)系(xi)(xi)統，如果(guo)存(cun)在(zai)(zai)泄(xie)的話，那么在(zai)(zai)壓(ya)力梯變的影(ying)響(xiang)下(xia)空氣(qi)中(zhong)的分(fen)子會從有縫隙的地(di)方跑出去形成氣(qi)泡，從而(er)(er)產生聲學信(xin)號或者叫作粒子束，通過測(ce)(ce)(ce)量這(zhe)個聲音可以確定具體(ti)的漏(lou)洞位置以及大(da)(da)小等(deng)信(xin)息。這(zhe)種(zhong)技(ji)術(shu)對各種(zhong)材料(liao)均不敏(min)感而(er)(er)且對于(yu)很小的體(ti)積也可以進行準確的測(ce)(ce)(ce)定，因此廣(guang)泛應用(yong)(yong)于(yu)半導體(ti)工業中(zhong)硅(gui)片芯片封(feng)裝(zhuang)環境的監測(ce)(ce)(ce)以防止晶圓損傷(shang)；也應用(yong)(yong)于(yu)大(da)(da)規模(mo)集成電路生產線上檢(jian)(jian)查每個密封(feng)件(jian)(jian)是(shi)否(fou)有缺陷。

氦檢(jian)(jian)漏系(xi)統(tong)是一(yi)種用(yong)于(yu)(yu)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)和測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)微小(xiao)泄漏的(de)設備，通常應用(yong)于(yu)(yu)航空航天、汽車(che)制造和維護以(yi)(yi)(yi)及(ji)(ji)石油化(hua)工等(deng)領(ling)域(yu)。該系(xi)統(tong)的(de)原理基于(yu)(yu)氣體超聲波流量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)技術，通過(guo)向(xiang)待測(ce)(ce)容器內注入一(yi)定(ding)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)惰(duo)性(xing)(xing)氣體（如氦氣），并(bing)根據容器的(de)壓力(li)變化(hua)來(lai)計(ji)算出泄露的(de)氣體量(liang)(liang)(liang)(liang)。由于(yu)(yu)大多(duo)數工業(ye)設備的(de)微量(liang)(liang)(liang)(liang)滲漏會導(dao)致輕(qing)微的(de)壓力(li)降落或零(ling)點偏移現象發(fa)生，因此(ci)使用(yong)這(zhe)種非侵入性(xing)(xing)的(de)方(fang)法進(jin)行測(ce)(ce)試可以(yi)(yi)(yi)有效地發(fa)現這(zhe)些細微缺陷(xian)的(de)存在并(bing)對(dui)其(qi)進(jin)行修復處理。此(ci)外，對(dui)于(yu)(yu)一(yi)些高(gao)精度要(yao)求的(de)場合下還需要(yao)采用(yong)其(qi)他(ta)輔助手段來(lai)進(jin)行驗證以(yi)(yi)(yi)確保(bao)終(zhong)結果的(de)準(zhun)確性(xing)(xing)可靠性(xing)(xing)及(ji)(ji)穩定(ding)性(xing)(xing)；同時隨著(zhu)科(ke)技的(de)不斷(duan)進(jin)步與(yu)發(fa)展未來(lai)將會有更多(duo)更的(de)技術與(yu)方(fang)法被應用(yong)到這(zhe)一(yi)領(ling)域(yu)中以(yi)(yi)(yi)便(bian)更好(hao)地滿(man)足實(shi)際生產及(ji)(ji)應用(yong)需求與(yu)目(mu)標要(yao)求。