氦質譜檢漏(lou)系統(tong)是一種(zhong)高(gao)(gao)靈敏(min)度的(de)(de)(de)(de)泄漏(lou)檢測(ce)(ce)設備，主(zhu)(zhu)(zhu)要用(yong)于真空系統(tong)中微小(xiao)(xiao)(xiao)滲漏(lou)的(de)(de)(de)(de)查找和定(ding)位。它主(zhu)(zhu)(zhu)要由主(zhu)(zhu)(zhu)機(ji)、進氣管道組件(jian)、離(li)子源、收集(ji)極、高(gao)(gao)壓電源、探測(ce)(ce)器(qi)等部(bu)分組成。該系統(tong)的(de)(de)(de)(de)功(gong)能是利用(yong)高(gao)(gao)速流動的(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)純度惰(duo)性氣體(ti)（通常是氮或）流將待測(ce)(ce)區(qu)域與(yu)外部(bu)環(huan)境(jing)隔離(li)，如果(guo)存在(zai)泄的(de)(de)(de)(de)話(hua)，那么在(zai)壓力梯變的(de)(de)(de)(de)影響下空氣中的(de)(de)(de)(de)分子會(hui)從有縫隙的(de)(de)(de)(de)地(di)方(fang)跑出(chu)去形成氣泡(pao)，氦質譜檢漏(lou)解決方(fang)案，從而產(chan)生聲(sheng)學信(xin)號或者叫作粒子束，通過(guo)測(ce)(ce)量這(zhe)個聲(sheng)音(yin)可以(yi)確定(ding)具體(ti)的(de)(de)(de)(de)漏(lou)洞位置以(yi)及大(da)小(xiao)(xiao)(xiao)等信(xin)息。這(zhe)種(zhong)技術對各種(zhong)材料均(jun)不敏(min)感而且對于很(hen)小(xiao)(xiao)(xiao)的(de)(de)(de)(de)體(ti)積也可以(yi)進行(xing)準確的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)定(ding)，因此廣泛應(ying)用(yong)于半(ban)導體(ti)工業中硅片芯片封裝環(huan)境(jing)的(de)(de)(de)(de)監(jian)測(ce)(ce)以(yi)防止晶圓損傷；也應(ying)用(yong)于大(da)規模(mo)集(ji)成電路生產(chan)線上檢查每個密封件(jian)是否有缺(que)陷。

真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)箱氦(hai)(hai)檢(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統是一種用(yong)(yong)于檢(jian)測(ce)和測(ce)量真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)內(nei)氣(qi)(qi)體是否含有氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)的設備(bei)。它通常用(yong)(yong)于食品(pin)、、化工和電子等行業，以確保產(chan)品(pin)在(zai)儲存和運輸過程中的質量。該系(xi)(xi)統通過將氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)抽入真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)內(nei)，然后檢(jian)測(ce)容器(qi)內(nei)的氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)濃度來(lai)工作(zuo)的。一旦容器(qi)內(nei)的氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)濃度低于設定的閾(yu)值，系(xi)(xi)統就(jiu)會(hui)發(fa)出警報(bao)，表明容器(qi)內(nei)可(ke)能存在(zai)泄漏(lou)(lou)。這種檢(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統可(ke)以提供準確的氣(qi)(qi)體濃度數據(ju)，從(cong)而幫助企業保證產(chan)品(pin)的質量和安(an)全。此(ci)外，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)箱氦(hai)(hai)檢(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統還可(ke)用(yong)(yong)于在(zai)航空(kong)(kong)、航天和等領域(yu)，確保設備(bei)在(zai)高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)環(huan)境下的密封性(xing)能。

氦檢漏系統是一種用于(yu)檢測(ce)產品中是否(fou)存在微(wei)小泄(xie)漏的(de)(de)(de)(de)設備(bei)。其(qi)工(gong)作原理(li)主要是基于(yu)氣體(ti)超聲(sheng)波(bo)流量(liang)計的(de)(de)(de)(de)工(gong)作模式(shi)，通過(guo)向被測(ce)介質施(shi)加高(gao)頻聲(sheng)信號(hao)并記錄回響來(lai)測(ce)量(liang)介質的(de)(de)(de)(de)流動(dong)情(qing)況。當有泄(xie)露發(fa)生(sheng)(sheng)時，就會產生(sheng)(sheng)相(xiang)應的(de)(de)(de)(de)壓力波(bo)動(dong)，這些變(bian)化(hua)會經過(guo)一些復雜的(de)(de)(de)(de)處理(li)過(guo)程轉化(hua)為電信號(hao)輸出來(lai)實(shi)現終的(de)(de)(de)(de)診斷結(jie)果分析(xi)。具(ju)體(ti)來(lai)說，該系統的(de)(de)(de)(de)組成(cheng)部分包括(kuo)傳(chuan)感器、前置(zhi)(zhi)器與顯示器等(deng)幾個部分：首(shou)先，傳(chuan)感器負責實(shi)時監測(ce)氣體(ti)的(de)(de)(de)(de)壓強和流速(su)；其(qi)次(ci)，需要將實(shi)時的(de)(de)(de)(de)數(shu)據信息進行轉換放大后輸送給(gei)后續的(de)(de)(de)(de)前置(zhi)(zhi)器進行處理(li);由(you)顯示屏對(dui)數(shu)據進行統計和分析(xi)得出具(ju)體(ti)的(de)(de)(de)(de)判斷結(jie)論。整(zheng)個過(guo)程的(de)(de)(de)(de)操作都是自動(dong)完成(cheng)的(de)(de)(de)(de)，不需要人工(gong)干預和處理(li).簡(jian)而言之(zhi)就是利用頻率響應的(de)(de)(de)(de)方式(shi)識別出因受(shou)載而產生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)體(ti)積漲落的(de)(de)(de)(de)特征光譜及其(qi)位置(zhi)(zhi)移動(dong)現象來(lai)實(shi)現對(dui)于(yu)整(zheng)體(ti)容(rong)器的(de)(de)(de)(de)狀態(tai)評估。