鎢-鈦（W-Ti）膜(mo)(mo)以及以鎢-鈦（W-Ti）為基(ji)的(de)(de)(de)合(he)金(jin)(jin)膜(mo)(mo)是高溫(wen)合(he)金(jin)(jin)膜(mo)(mo)，具(ju)有一系(xi)列(lie)的(de)(de)(de)優良(liang)性(xing)能。鎢具(ju)有高熔點、高強(qiang)度(du)和(he)低(di)的(de)(de)(de)熱(re)膨脹(zhang)系(xi)數等(deng)性(xing)能，W/ Ti 合(he)金(jin)(jin)具(ju)有低(di)的(de)(de)(de)電阻系(xi)數、良(liang)好(hao)的(de)(de)(de)熱(re)穩定性(xing)能。如各種(zhong)器(qi)件(jian)(jian)都(dou)需(xu)要起到導(dao)電作用的(de)(de)(de)金(jin)(jin)屬(shu)布線(xian)，例如Al 、Cu 和(he)Ag 等(deng)已(yi)經(jing)被廣泛的(de)(de)(de)應(ying)用和(he)研究。但是布線(xian)金(jin)(jin)屬(shu)本(ben)身易 氧化(hua)、易與(yu)周圍的(de)(de)(de)環境發(fa)生反應(ying)，與(yu)介(jie)質(zhi)層的(de)(de)(de)粘結性(xing)差，易擴散進入Si 與(yu)SiO2 等(deng)器(qi)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)襯底材料中，并且在較低(di)的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)下(xia)會(hui)形成金(jin)(jin)屬(shu)與(yu)Si 的(de)(de)(de)化(hua)合(he)物， 充當(dang)了雜質(zhi)的(de)(de)(de)角色(se)，使器(qi)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)性(xing)能大幅度(du)下(xia)降。

各種純(chun)度(du)(du)(du)鋁中(zhong)的(de)(de)雜(za)(za)質含量及剩余電阻(zu)(zu)率(lv)如(ru)表2所(suo)示。超(chao)純(chun)金(jin)(jin)屬(shu)超(chao)純(chun)的(de)(de)純(chun)度(du)(du)(du)也可以用剩余電阻(zu)(zu)率(lv)來測定，貴金(jin)(jin)屬(shu)靶材報價，其值(zhi)約為2×10-5。現代(dai)科學技術的(de)(de)發展趨(qu)勢(shi)是對(dui)金(jin)(jin)屬(shu)純(chun)度(du)(du)(du)要(yao)求越來越高。因(yin)為金(jin)(jin)屬(shu)未能(neng)達到一(yi)定純(chun)度(du)(du)(du)的(de)(de)情(qing)況(kuang)下(xia)，金(jin)(jin)屬(shu)特(te)性往(wang)往(wang)為雜(za)(za)質所(suo)掩(yan)蓋。不(bu)僅是半導體材料，其他金(jin)(jin)屬(shu)也有同樣的(de)(de)情(qing)況(kuang)，由于(yu)雜(za)(za)質存在影(ying)響金(jin)(jin)屬(shu)的(de)(de)性能(neng)。

鎢(wu)過去(qu)用(yong)作燈(deng)泡的燈(deng)絲，由于(yu)脆(cui)性而使處理上有困(kun)難，在適(shi)當提純之后，貴金屬靶材價格，這種缺點即可(ke)以克(ke)服（鎢(wu)絲也有摻雜及加工(gong)問(wen)題）。

超純金(jin)屬(shu)(shu)，指的(de)化(hua)學雜質和物(wu)理雜質 (晶體缺陷) 含量(liang)(liang)的(de)金(jin)屬(shu)(shu)。目(mu)前主要以(yi)化(hua)學雜質的(de)含量(liang)(liang)為標(biao)準(zhun)，常(chang)以(yi)雜質在金(jin)屬(shu)(shu)中總含 量(liang)(liang)的(de)百萬分之幾表示(shi) 。超純金(jin)屬(shu)(shu)是(shi)相對高(gao)純度的(de)金(jin)屬(shu)(shu)，一(yi)般指金(jin)屬(shu)(shu)純度達到純度9以(yi)上的(de)金(jin)屬(shu)(shu)，河(he)北(bei)貴金(jin)屬(shu)(shu)靶材，物(wu)理雜質的(de)概念才是(shi)有意義的(de)。

材料(liao)的純(chun)度對(dui)其(qi)性(xing)能，特別是微電子學、光(guang)電子學性(xing)能影響很(hen)大，現代高技術產業要求制備(bei)出超純(chun)金屬以利于制作器件。