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為什么(me)會出(chu)現這樣奇(qi)怪的(de)現象?為什么(me)更好(hao)的(de)分(fen)辨率卻沒(mei)有得(de)到(dao)(dao)更真實的(de)圖像(xiang)?前面我們(men)已經(jing)說到(dao)(dao),電(dian)子(zi)束(shu)(shu)是(shi)(shi)由掃(sao)(sao)描線圈(quan)的(de)脈(mo)沖信號(hao)控制,電(dian)子(zi)束(shu)(shu)在(zai)試樣表面并不是(shi)(shi)連(lian)(lian)續(xu)掃(sao)(sao)描,而是(shi)(shi)逐(zhu)點(dian)跳躍式(shi)的(de)掃(sao)(sao)描。一般掃(sao)(sao)描電(dian)鏡的(de)采集像(xiang)素(su)比較大,我們(men)會誤以(yi)為是(shi)(shi)連(lian)(lian)續(xu)掃(sao)(sao)描。既然掃(sao)(sao)描電(dian)鏡是(shi)(shi)束(shu)(shu)斑間斷跳躍式(shi)的(de)軌跡,那么(me)電(dian)子(zi)束(shu)(shu)就有一定的(de)覆蓋面積。
束斑中心的距離取決于放大倍數和采集像素大小。當束斑較大時,束斑覆蓋比較;但是當束斑減小時,束斑的覆蓋區域也越來越小,花藥掃描電鏡技術服務,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。
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