但(dan)是(shi)靶(ba)材制作(zuo)困難，這是(shi)因為(wei)(wei)氧化(hua)(hua)(hua)銦(yin)不容易燒結在(zai)一(yi)(yi)起(qi)。一(yi)(yi)般采(cai)用ZrO2、Bi2O3、CeO等作(zuo)為(wei)(wei)燒結添加劑，銀鈀靶(ba)材廠，能夠獲(huo)得(de)密度為(wei)(wei)理論值的(de)93%~98%的(de)靶(ba)材，這種方式形成的(de)ITO薄膜(mo)的(de)性能與添加劑的(de)關系(xi)極(ji)大。日本的(de)科學家采(cai)用Bizo作(zuo)為(wei)(wei)添加劑，Bi2O3在(zai)820Cr熔化(hua)(hua)(hua)，在(zai)l500℃的(de)燒結溫度超出部分已經揮發(fa)，這樣能夠在(zai)液相(xiang)燒結條件下得(de)到比較純的(de)ITO靶(ba)材。而且(qie)所需要的(de)氧化(hua)(hua)(hua)物原料也不一(yi)(yi)定是(shi)納米(mi)顆粒，這樣可以簡(jian)化(hua)(hua)(hua)前期的(de)工序。

所述泡(pao)沫(mo)彈性(xing)層(ceng)包含:至(zhi)(zhi)少三種(zhong)具有不同體(ti)積(ji)電(dian)(dian)(dian)阻率的導電(dian)(dian)(dian)性(xing)橡(xiang)膠(jiao)，銀(yin)鈀(ba)靶材(cai)廠家(jia)，這三種(zhong)導電(dian)(dian)(dian)性(xing)橡(xiang)膠(jiao)的體(ti)積(ji)電(dian)(dian)(dian)阻率小于約I X ο14 Ω Cm ;至(zhi)(zhi)少一種(zhong)體(ti)積(ji)電(dian)(dian)(dian)阻率為(wei)約IXlO14Qcm或更大的絕(jue)緣橡(xiang)膠(jiao)；以及至(zhi)(zhi)少兩(liang)種(zhong)導電(dian)(dian)(dian)性(xing)填料(liao)。

所(suo)述(shu)絕(jue)緣橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)為選自由三(san)元(yuan)(yuan)乙(yi)丙橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、硅橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和(he)丁(ding)基橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)構成(cheng)的(de)組中(zhong)的(de)至(zhi)少(shao)一種橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)。根(gen)據本發明的(de)第三(san)方(fang)面(mian)，所(suo)述(shu)導電(dian)性(xing)橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和(he)所(suo)述(shu)絕(jue)緣橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)為氯醚橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、丁(ding)苯橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和(he)三(san)元(yuan)(yuan)乙(yi)丙橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)，哪里有銀(yin)鈀(ba)靶材，或者為氯丁(ding)橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、氯醚橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、丁(ding)苯橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和(he)三(san)元(yuan)(yuan)乙(yi)丙橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)。根(gen)據本發明的(de)第四方(fang)面(mian)，所(suo)述(shu)絕(jue)緣橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)的(de)含量(liang)(liang)為橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)成(cheng)分(fen)總(zong)量(liang)(liang)的(de)約30質量(liang)(liang)％至(zhi)約40質量(liang)(liang)％。

對圓(yuan)周方向(xiang)的電阻值的不均勻依然無法改善。

此外，采用連(lian)續硫化法時(shi)(shi)，甘(gan)肅銀鈀靶材(cai)，如果硫化時(shi)(shi)的(de)熱傳(chuan)遞沒有設法盡量達到(dao)均勻，則擠壓后的(de)硫化速度不一致(zhi)，這樣可能電阻(zu)值的(de)不均勻程度反而大于間歇式硫化法。特別(bie)是在圓(yuan)周方向上這種傾向更顯著。

采用(yong)連續(xu)硫化法時，在擠壓機的(de)(de)擠壓筒內的(de)(de)半(ban)徑(jing)方向上有非常大的(de)(de)剪切(qie)速度分布，這可能(neng)會影響(xiang)電子導(dao)電性填充劑的(de)(de)分散。