工業級四甲基氫氧化銨（Tetramethylammoniumhydroxide，簡稱TMAH）是一種重要的有機化合物。其分子式為(CH3)4NOH，通常表現為無色結晶或透明液體形態。TMAH具有強堿性、易吸潮和在空氣中能迅速吸收二氧化碳的特性；同時它還具有良好的電化學穩定性與化學穩定性和熱穩定性——在135\~140℃會分解氣化而不會留下殘留物^[2]^。這些性質使得它在多種工業生產中得到廣泛應用：例如作為催化劑參與二甲基硅油等物質的合成過程；還可以用于提高電解質的導電性和穩定性^[3]^。此外,TMA還是一種有效的生物降解劑和處理廢水中的有機物的重要試劑。而在半導體行業中,由于金屬離子含量低這一特性使得它成為理想的正膠顯影劑和光刻顯影液成分之一。在具體制備過程中可能會采用不同方法如電解法、離子膜法等來得到高純度且符合應用需求的產品：其中通過優化工藝條件和使用高效分離技術可以顯著提升產物質量和產量并降低生產成本及環境污染風險[2]。因此掌握和應用好關于該物質基本原理及其相關制備方法對于推動相關行業技術進步和產品升級具有重要意義