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沈陽東創貴金屬材料有限公司
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濺射靶(ba)材(cai)ITO靶(ba)材(cai)的(de)生(sheng)(sheng)(sheng)產工藝(yi) ITO靶(ba)材(cai)的(de)生(sheng)(sheng)(sheng)產工藝(yi)可(ke)以分為3種：熱(re)等靜(jing)壓法(fa)(HIP)、濺射靶(ba)材(cai)熱(re)壓法(fa)(HP)和氣(qi)氛燒結法(fa)。各種生(sheng)(sheng)(sheng)產工藝(yi)及其特點簡介如下：
熱(re)(re)等靜(jing)壓(ya)法(fa)：ITO靶材的(de)熱(re)(re)等靜(jing)壓(ya)制(zhi)作過程(cheng)是將粉末或預先(xian)成(cheng)形的(de)胚體，在(zai)800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的(de)壓(ya)力下(xia)等方加(jia)壓(ya)燒結。熱(re)(re)等靜(jing)壓(ya)工藝制(zhi)造(zao)產(chan)(chan)品密度高(gao)、物(wu)理(li)機(ji)械性能(neng)好，但設(she)備投入高(gao)，生產(chan)(chan)成(cheng)本高(gao)，哪里有包銀導(dao)電輥，產(chan)(chan)品的(de)缺氧率(lv)高(gao)。
各(ge)種(zhong)類型的(de)(de)(de)(de)(de)濺射(she)薄膜材(cai)料在半導(dao)(dao)體集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)(VLSI)、光(guang)碟、平面(mian)顯(xian)示(shi)器(qi)(qi)以(yi)及工件的(de)(de)(de)(de)(de)表面(mian)涂(tu)層等(deng)方面(mian)都得到了廣泛的(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)。20世紀90年代以(yi)來，濺射(she)靶(ba)材(cai)及濺射(she)技術的(de)(de)(de)(de)(de)同步發展，包(bao)銀導(dao)(dao)電(dian)(dian)輥(gun)哪家好(hao)，極大(da)地滿足了各(ge)種(zhong)新型電(dian)(dian)子元器(qi)(qi)件發展的(de)(de)(de)(de)(de)需(xu)求。例如，在半導(dao)(dao)體集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)制(zhi)造過程中，包(bao)銀導(dao)(dao)電(dian)(dian)輥(gun)，以(yi)電(dian)(dian)阻(zu)率較低(di)的(de)(de)(de)(de)(de)銅導(dao)(dao)體薄膜代替(ti)鋁膜布線(xian)：在平面(mian)顯(xian)示(shi)器(qi)(qi)產業中，各(ge)種(zhong)顯(xian)示(shi)技術(如LCD、PDP、OLED及FED等(deng))的(de)(de)(de)(de)(de)同步發展，有的(de)(de)(de)(de)(de)已(yi)經(jing)用(yong)于電(dian)(dian)腦及計算機的(de)(de)(de)(de)(de)顯(xian)示(shi)器(qi)(qi)制(zhi)造；在信息存儲產業中，磁性存儲器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)存儲容(rong)量不(bu)斷增加，新的(de)(de)(de)(de)(de)磁光(guang)記錄材(cai)料不(bu)斷推陳出(chu)新這些(xie)都對所需(xu)濺射(she)靶(ba)材(cai)的(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量提出(chu)了越(yue)來越(yue)高(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)要求，需(xu)求數(shu)量也逐(zhu)年增加。
鎢-鈦靶材作為光伏(fu)電池(chi)鍍膜材料是近(jin)發展起(qi)來的(de)，哪家(jia)有(you)包銀導電輥(gun)，它(ta)作為第三(san)代太陽能電池(chi)的(de)阻擋(dang)層是佳選擇(ze)。
由于(yu) W-Ti 系列薄(bo)膜具有(you)非常優良的(de)(de)性(xing)能(neng)，近幾年來應(ying)用(yong)量急劇(ju)增(zeng)加，2008年W-Ti 靶材(cai)世界(jie)用(yong)量已達到400t，隨著光伏產業(ye)的(de)(de)發展(zhan)，這(zhe)種靶材(cai)的(de)(de)需求量會越(yue)來越(yue)大(da)。具行(xing)業(ye)預測其用(yong)量還會有(you)很大(da)的(de)(de)增(zeng)加。國際太(tai)(tai)陽(yang)能(neng)電池市(shi)場以的(de)(de)速度(du)增(zeng)長，目前世界(jie)有(you)30 多公司參與太(tai)(tai)陽(yang)能(neng)市(shi)場的(de)(de)進一步開發， 并(bing)已有(you)的(de)(de)公司產品(pin)投入市(shi)場。
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第9年
