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先生: |
人類(lei)社會的(de)存在(zai),科(ke)學技術的(de)進步和發(fa)展,已成(cheng)為21世紀(ji)首要的(de)戰略(lve)儲備物資(zi),且與(yu)各國的(de)政治經(jing)濟(ji)和社會發(fa)展有(you)著(zhu)息息相關的(de)緊(jin)密(mi)聯系(xi),在(zai)已知的(de)傳統(tong)產(chan)業和應用領域中,高(gao)純材料、合金、各種深加工的(de)制品(半成(cheng)品)及(ji)化學制品,已被廣(guang)泛應用到冶金鋼鐵,石油(you)化工,有(you)機化工,酸霧吸收塔廠,化工,電(dian)子(zi)電(dian)器,汽車制造,光學玻璃,玻璃纖維。
現(xian)在行業中通用(yong)的(de)測(ce)量方法基本(ben)是手(shou)動(dong)進(jin)行的(de),其劣(lie)勢(shi)在于手(shou)動(dong)測(ce)試(shi)受人為(wei)因素 (用(yong)力的(de)大(da)(da)小,接(jie)觸(chu)面積等)影響(xiang)較大(da)(da),酸(suan)霧吸收塔(ta)廠家,手(shou)動(dong)測(ce)試(shi)無(wu)法實現(xian)同一(yi)被測(ce)物目標的(de)多(duo)次(ci)數(shu)(shu)值(zhi)的(de)重現(xian),手(shou)動(dong)測(ce)試(shi)時只能達到(dao)每次(ci)測(ce)試(shi)出來(lai)一(yi)個數(shu)(shu)值(zhi),無(wu)法做產品的(de)分析(xi)。另外一(yi)般的(de)電阻測(ce)量儀(yi)器受溫度和濕度的(de)影響(xiang)較大(da)(da),無(wu)法測(ce)量,導致不能得(de)出的(de)數(shu)(shu)值(zhi),從而不能保證廣(guang)品的(de)品質。
在(zai)所有應(ying)用產業(ye)(ye)中(zhong),半(ban)導體(ti)產業(ye)(ye)對(dui)靶材濺射薄膜(mo)的(de)品質(zhi)要(yao)求是(shi)苛刻的(de)。如今12英寸(cun)(300衄口(kou))的(de)硅晶片(pian)(pian)已制(zhi)造出(chu)來(lai).而互連線的(de)寬度(du)卻在(zai)減(jian)小。硅片(pian)(pian)制(zhi)造商(shang)對(dui)靶材的(de)要(yao)求是(shi)大尺寸(cun)、高純(chun)(chun)度(du)、低偏析和(he)細晶粒,淮南酸(suan)霧吸收塔(ta),這就要(yao)求所制(zhi)造的(de)靶材具(ju)有更好的(de)微觀結(jie)構。靶材的(de)結(jie)晶粒子(zi)直徑和(he)均勻性已被認為是(shi)影響薄膜(mo)沉(chen)積率的(de)關鍵因(yin)素。另外,薄膜(mo)的(de)純(chun)(chun)度(du)與靶材的(de)純(chun)(chun)度(du)關系極(ji)大,過99.995%(4N5)純(chun)(chun)度(du)的(de)銅(tong)靶,或許能夠(gou)滿(man)(man)足半(ban)導體(ti)廠商(shang)0.35pm工(gong)藝的(de)需求,但是(shi)卻無法滿(man)(man)足如今0.25um的(de)工(gong)藝要(yao)求。
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